Resist Processing Sistemleri

EVG®101 İleri Resist
Processing Sistemi

Otomatik spin veya spray kaplama veya gelişen manuel wafer ile yükleme ve boşaltma

EVG®101LA Geniş Alan Kaplama
Sistemi

Geniş alanada yarı otomatik spray kaplama

EVG®105 Bake Modülü

Bağımsız Bake Modülü
Max. sıcaklık 150 ° C


EVG®120 Otomatik Resist
Processing Sistemi

Tam entegre işlem modülleri
250 °C 'ye kadar bake modülü




EVG®150 300 mm'ye kadar
Otomatik Resist Processing Sistemi

Yüksek Topografya yüzeyleri optimize kaplama için OmniSpray® kaplama özelliği

EVG®150N Automated NanoSpray
Coating Sistemi

Ultrasonik nozullar tarafından oluşturulan bir spray buğu üzerinde temel spray işlemi